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多功能薄膜沉积设备(SPE)
将真空蒸镀、、反应式等离子镀膜、、、磁控溅射三大镀膜模块整合成一体。。。。
全自动石墨舟装卸片机
设备模块化设计，，，内部相似结构零部件高度统一，，便于备件管理。。
全自动石英舟装卸片机
设备具有友好的人机界面和完善的检测报警系统，，保证设备自动运行稳定，，，操作放心。。。。
全自动硅片上/下料机
采用PLC控制，，，上/下片过程全自动完成。。。
激光优化烧结设备
激光器、、、、扫描振镜，，，场镜及所有光学元器件均为业内知名品牌，，，具有优越的稳定性、、、可靠性。。。
磁控溅射镀膜设备(PVD)
PVD具有多阶阴极，，，，可以制备种子层与多种折射率的叠层TCO。。。
管式等离子体多晶硅淀积炉
隧穿氧化层、、i-poly、、、、D-poly 三合一同管完成，，，减少工艺环节，，，，有效提升良率、、降低碎片率。。。
管式低压硼扩散炉
成熟BBr3液态源、、、BCL3气态源控制与输送技术。。。
管式扩散氧化退火炉
全面的防超温、、、断偶、、、、撞舟等安全报警保护功能。。。。
管式等离子体淀积炉
可靠电极接触，，有效减少粉尘、、、降低高频报警频次。。。。
管式低压淀积炉
低压与热壁工艺特性，，，，成膜均匀性、、致密性好。。。
槽式碱抛光清洗设备
支持MES、、、、RFID 及选配在线称重功能。。
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