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隧穿氧化层、、、i-poly、、、、D-poly 三合一同管完成，，，减少工艺环节，，，有效提升良率、、、、降低碎片率。。。。
管式低压硼扩散炉
成熟BBr3液态源、、、、BCL3气态源控制与输送技术。。。
管式扩散氧化退火炉
全面的防超温、、、、断偶、、、撞舟等安全报警保护功能。。。
管式等离子体淀积炉
可靠电极接触，，，，有效减少粉尘、、、降低高频报警频次。。。
管式低压淀积炉
低压与热壁工艺特性，，，成膜均匀性、、、致密性好。。。。
管式低压磷扩散炉
独特双嵌套炉门结构，，有效解决炉口偏磷酸问题。。。
管式原子层镀膜设备
单腔体设计，，，，占地面积小，，，操作时间短；适应不同前驱体、、不同材料的多层复合膜层镀膜，，，，工艺拓展空间大。。
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